日前,技术中心成功研制出大尺寸、高致密度二硫化钼溅射靶材产品,并开始客户的使用认证。
二硫化钼靶材主要用于溅射制备二硫化钼薄膜产品。二硫化钼溅射薄膜与离子镀膜、刷镀膜粘结膜相比,具有更高的耐磨寿命和更低的运动摩擦系数,主要用于空间精密机械,包括卫星活动部件和精密滚动轴承等真空润滑。由于二硫化钼在潮湿空气环境中易吸湿导致其润滑性能下降,且抗氧化性能较弱,因此主要应用于真空和没有水蒸汽的环境中。
近年来,研究人员发现,在二硫化钼薄膜溅射过程中加入其他元素可增加薄膜的抗氧化性和耐湿性能。这一发现使二硫化钼薄膜的应用领域从真空环境拓宽至大气环境。因此,市场对二硫化钼靶材的需求量和质量都提出更高的要求。技术中心从方案制定、工艺调整、工艺优化整个研究过程中,将理论与经验相结合、不断摸索前行,最终研制出长度大于300mm、宽度大于200mm、相对密度大于95%的大尺寸、高致密度二硫化钼靶材产品,各项指标赶超市场水平。日前,客户已对二硫化钼靶材产品的使用性能展开测试评价。
二硫化钼靶材是一种高附加值产品。该产品的成功研制,标志着技术中心又一依托科研项目制备的新产品取得实质性突破,也为公司再增加一新产品种类。